微納器件在半導(dǎo)體、生物科學(xué)等領(lǐng)域中的迅速發(fā)展促進了人們對微納結(jié)構(gòu)的不斷探索和改進。測量作為衡量器件性能的重要手段，對微納結(jié)構(gòu)的三維形貌檢測也變得日趨重要。 

　　光電所科研人員提出一種基于白光顯微干涉術(shù)的形貌恢復(fù)算法：利用二維傅立葉變換獲取單幀干涉圖像頻域信息，提取基頻頻譜作逆傅里葉變換，最后獲取條紋的時域調(diào)制度信息。通過壓電陶瓷縱向高精度掃描，獲取每個像素點的調(diào)制度分布，進而利用極值點得到單個像素點的高度信息，從而實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的三維形貌重建。該方法優(yōu)勢在于能有效消除光源光強不穩(wěn)定、外界環(huán)境干擾等不利因素帶來的誤差，較大程度上提升檢測精度和系統(tǒng)穩(wěn)定性，未來有望應(yīng)用于在線檢測。 

　　該項目得到國家科學(xué)自然基金和光電所研究生創(chuàng)新基金支持。 

　　單個像素點時域調(diào)制度分布曲線和三維形貌重建結(jié)果